SmarAct SGO角位移台
德国SmarAct公司，专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术，强大的激光干涉仪检测技术，可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统，广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
基本信息
SmarAct角位移台
| SmarAct可提供各种半径的SGO系列角位移台 |
| 型号 | 半径 | 体积 | 行程 |
| SGO-60.5 | 60.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
| SGO-77.5 | 77.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
| SGO-93.5 | 93.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
其他参数及选项
- 开环步进：0.7-7 μrad
- 压电扫描范围：10.5 μrad
- 压电扫描精度：0.01 μrad
- 速度：4 °/s
- 垂直负载：500g
- 可选闭环驱动器及分辨率
- -M: 1.5 μrad(MCS控制器), 4.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -L: 0.12 μrad(MCS控制器), 1.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -S: 0.03 μrad/2μ°(MCS控制器)
- 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 长寿命导轨选项：-Z
SmarAct SLC直线纳米位移台
压电驱动线性位移台，分辨率可达1nm,可选择超高真空、无磁、低温等诸多环境选项。 17系列17mm宽8.5mm厚。 24系列24mm宽，10.5mm厚。
SmarAct SR高精度旋转台
德国SmarAct公司，专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术，强大的激光干涉仪检测技术，可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统，广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SmarAct控制器及系统
德国SmarAct公司微纳位移台和系统以及电动光机产品等，可通过HCU/CU控制器，MCS控制器进行开/闭环控制。提供各种接口和封装应用于不同场景，也可提供手动摇杆控制方式方便进行调节。