微纳位移控制
SmarAct MLL大行程电磁驱动直线纳米位移台
超大行程电磁驱动线性位移台
SmarAct产品中心
德国SmarAct公司全系列产品线及相关技术介绍
SmarAct SG系列微夹钳
德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SmarAct DLS直线纳米位移台
混合驱动线性位移台,扫描范围10μm,行程21mm.
SmarAct CLS直线纳米位移台
可更换摩擦元件,压电驱动线性位移台。通过更换摩擦元件延长使用寿命,并且不牺牲性能。可达1nm分辨率。有超高真空、无磁等环境选项可选。
SmarAct MLS电磁驱动直线纳米位移台
电磁驱动线性纳米位移台。位置精度3nm,无磨损,长寿命,900mm/s高速移动。
SmarAct SLC直线纳米位移台
压电驱动线性位移台,分辨率可达1nm,可选择超高真空、无磁、低温等诸多环境选项。 17系列17mm宽8.5mm厚。 24系列24mm宽,10.5mm厚。
SmarAct CLL大行程直线纳米位移台
大行程线压电驱动性纳米位移台,有可更换驱动单元。分辨率可达1nm,滑块宽60mm,厚16mm,长度取决于行程。
SmarAct SL直线纳米位移台
超迷你,微型线性位移台,分辨率可达1nm
SmarAct SHL升降位移台
德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SmarAct SGO角位移台
德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SmarAct SR高精度旋转台
德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SmarAct控制器及系统
德国SmarAct公司微纳位移台和系统以及电动光机产品等,可通过HCU/CU控制器,MCS控制器进行开/闭环控制。提供各种接口和封装应用于不同场景,也可提供手动摇杆控制方式方便进行调节。